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J-GLOBAL ID：200903077915828440

走査表面磁気検出装置

Inventor： 本多 幸雄 ,  稲葉 信幸
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994154800
Publication number (International publication number)：1996021870
Application date： Jul. 06, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 試料表面の形態情報と磁気情報とを分離して検出する。【構成】 一端に尖針1を有する板バネ2と、板バネの変位を検出する光てこ5〜7と、XYZスキャナ9と、光てこからの出力信号に基づき前記板バネの変位が一定に保たれるようにXYZスキャナ9のZ軸圧電素子印加電圧を制御するサーボ制御回路8により原子間力顕微鏡を構成する。板バネ2の尖針部分に多層磁気抵抗効果膜3を備え、試料4と尖針1の間にトンネル電圧12を印加して検出器13で多層磁気抵抗効果膜3を流れるトンネル電流を検出するか、又は多層磁気抵抗効果素子3の磁気抵抗を検出することにより、試料4の表面形態情報から独立して試料表面の磁気情報を検出する。

Claim (excerpt)：

一端に尖針を有し該尖針部分に多層磁気抵抗効果膜を備える板バネと、前記板バネの変位を検出する板バネ変位検出手段と、前記板バネの尖針と試料の間の距離を制御する試料距離制御手段と、前記板バネ変位検出手段からの出力信号に基づき前記板バネの変位が一定に保たれるように前記試料距離制御手段に制御信号を出力する手段と、前記多層磁気抵抗効果膜の磁気抵抗を検出する磁気抵抗検出手段と、前記尖針と試料表面とを二次元的に相対移動させる二次元走査手段と、前記二次元走査手段による前記尖針と試料表面の相対移動に同期して前記磁気抵抗検出手段からの検出信号を表示する表示手段とを含むことを特徴とする走査表面磁気検出装置。

IPC (6)：

G01R 33/02 ,  G01N 27/72 ,  G01N 37/00 ,  G01R 33/10 ,  G01R 33/12 ,  G11B 5/02