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J-GLOBAL ID:200903077919520297
クリーンルーム構造
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
大島 陽一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992317798
Publication number (International publication number):1994201169
Application date: Nov. 02, 1992
Publication date: Jul. 19, 1994
Summary:
【要約】【目的】 クリーンルームの作業室の下に設けられた地下室を介してクリーンエアを循環させる構造に於いて、作業室の水漏れ事故による地下室に設けられた装置の損傷事故や漏電事故などを未然に防止する。【構成】 クリーンルームの作業室の下部に地下室2を設け、作業エリアの床4を多数の開孔を有する金属板により形成し、クリーンエアを層流ダウンフロー制御し易くして、地下室2を介して循環させる。地下室2の床を複数の排水溝6にて多数の島状ゾーン7にブロック分割し、各ゾーン7上に、作業室に必ずしも必要のない補助装置類を配設する。排水溝6に連通する集水桝8と、排水路9とを設ける。【効果】 作業室内で万が一水漏れ事故が発生しても、1つのゾーン7上に落水した水が他のゾーン7にまで広がらず、広域に亘る被害を未然に防止し得る。
Claim (excerpt):
クリーンエア雰囲気での作業を行うための作業室と、前記作業に必要な装置の一部を設けるべく前記作業室の下部に設けられた地下室と、前記作業室内に送られてくるクリーンエアを前記地下室を介して循環させるべく前記作業室と前記地下室との間に設けられた複数の貫通孔を有する換気用床と、前記地下室の床を複数の部分に分割するように設けられた排水溝とを有することを特徴とするクリーンルーム構造。
IPC (3):
F24F 7/06
, E03F 3/02
, E04H 5/02
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