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J-GLOBAL ID：200903077923064727

重ね合わせ測定誤差補正方法

Inventor： 富松 喜克
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996093953
Publication number (International publication number)：1997283412
Application date： Apr. 16, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 TIS値の中に極端に大きい値があるときやTIS値がばらついているときにも精度よく重ね合わせ誤差の測定値を補正できる重ね合わせ測定誤差補正方法を提供する。【解決手段】 TIS値の分散が基準値以下であればTIS値の平均値で補正するステップ205と、TIS値の分散が基準値を超え、かつTIS値の中に飛値があれば個々のTIS値で補正するステップ207と、TIS値の分散が基準値を超え、かつTIS値の中に飛値がなければ飛値を除いた残りのTIS値の平均値で補正するステップ208とを備える。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された、相対的に下側に位置する層からなる複数個の第1のマークと、その第1のマーク上に重ね合わされて形成された、相対的に上側に位置する層からなる複数個の第2のマークとの間の相対的な位置ずれの各々の測定値を補正するための重ね合わせ測定誤差補正方法であって、マークの位置を認識するために用いられる光源に対向させて前記基板を第1の位置に置いたときに複数個の前記第1と第2のマーク間のそれぞれの相対的な位置ずれを複数個の第1の値として測定するステップと、前記第1の位置に対して前記基板の法線方向を中心にして180°回転させた第2の位置に前記基板を置いたときに前記相対的な位置ずれを複数個の第2の値として測定するステップと、複数個の前記第1と第2の値の和の半分の値を前記第1と第2とのマークの各々に対応して複数個の第3の値として算出するステップと、複数個の前記第3の値の分散が第1の基準値を超え、かつ前記第3の値の1つと、複数個の前記第3の値からその1つの前記第3の値を除いて算出される平均値との差が第2の基準値を超えているとき、前記平均値に基づいて複数個のマークの各々の相対的な位置ずれの測定値を補正するステップと、前記分散が前記第1の基準値以下のとき、複数個の前記第3の値のすべての平均値に基づいて複数個のマークの各々の相対的な位置ずれの測定値を補正するステップと、前記分散が前記第1の基準値を超え、かつ前記第3の値の1つと複数個の前記第3の値からその1つの前記第3の値を除いて算出される平均値との差が第2の基準値以下であるとき、複数個の前記第3の値の各々に基づいて複数個のマークの各々の相対的な位置ずれの測定値を補正するステップとを備えた、重ね合わせ測定誤差補正方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00

FI (3)：

H01L 21/30 525 W ,  G01B 11/00 Z ,  G03F 9/00 H