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J-GLOBAL ID：200903077957184055
カップ式めっき装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高月 猛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994215027
Publication number (International publication number)：1996074088
Application date： Sep. 08, 1994
Publication date： Mar. 19, 1996
Summary：
【要約】【目的】バンプメッキなどに用いられるカップ式めっき装置について、めっきの不均一性の原因となるめっき液の流速ムラや電流密度のムラを解消させる。【構成】供給口3からのめっき液Lの噴出流をめっき槽2内に拡散させるためのダンパー体4を供給口の上部に設け、また上部開口1におけるめっき液の流出口7に沿って電流遮蔽体8をめっき槽の内方に突出させて設けている。その電流遮蔽体は、流出口側の端部から突出先端に向けてめっき対象物Uのめっき対象面との間隔が徐々に広がるようになる形状の電流密度ガイド面8fを有することで特徴付けられる。
Claim (excerpt)：
カップ状のめっき槽の上部開口に載置しためっき対象物のめっき対象面に、めっき槽底部の供給口から噴出的に供給されるめっき液を上部開口から周囲に流出させつつ接触させてめっきするようになっているカップ式めっき装置において、供給口の上部にダンパー体を設け、このダンパー体により供給口からのめっき液の噴出流をめっき槽内に拡散させるようにしたことを特徴とするカップ式めっき装置。
IPC (4)：
C25D 5/08
, C25D 7/12
, C25D 21/10 301
, H01L 21/321
