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J-GLOBAL ID：200903077989825834

等級化された密度を有するナノポーラス誘電体フィルム及びそのようなフィルムの製造方法

Inventor： ウォーレス,スティーブン ,  スミス,ダクラス・エム ,  ラモス,テレサ ,  ロデリック,ケヴィン・エイチ ,  ドラッジ,ジェームズ・エス
Applicant, Patent owner： アライドシグナル・インコーポレーテッド
Agent (1)： 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998543964
Publication number (International publication number)：2001520805
Application date： Apr. 02, 1998
Publication date： Oct. 30, 2001
Summary：

【要約】本発明は、ナノポーラス誘電体フィルム(10)及びそれらの製造方法に関する。その表面上に浮き上がった複数の配線(4)を有する支持体(2)に、該浮き上がった配線(4)間に配置された相対的に高い多孔度の低誘電率ケイ素含有ポリマー組成物(10)、及び該配線(4)上に配置された相対的に低い多孔度の高誘電率ケイ素含有ポリマー組成物(8)が提供される。

Claim (excerpt)：

多密度ナノポーラス誘電体コーテッド支持体であって、支持体、該支持体上に浮き上がった複数の配線、該浮き上がった配線間に配置された相対的に高い多孔度の低誘電率ケイ素含有ポリマー組成物、及び該配線の上面上に配置された相対的に低い多孔度の高誘電率ケイ素含有ポリマー組成物を含んでなる支持体。

IPC (2)：

H01L 21/316 ,  H01L 21/768

FI (2)：

H01L 21/316 M ,  H01L 21/90 S