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J-GLOBAL ID：200903078010992057

マイクロ電気機械的テレビ走査デバイスとその製造法

Inventor：
ジョンソン,マイケル ディー.

About ジョンソン,マイケル ディー.


Applicant, Patent owner：
メドカム、インコーポレーテッド

About メドカム、インコーポレーテッド


Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995505283
Publication number (International publication number)：1997502580
Application date： Jul. 19, 1994
Publication date： Mar. 11, 1997
Summary：
【要約】テレビ画像走査または関連機能のため電気的に作動されるマイクロ電気機械的テレビ走査デバイス。この走査デバイスはサブミリメートル範囲の特徴的サイズを有する形に製造する事ができる。この走査装置は2自由度を有する静電作動プレート(30)から成る。平行放射線エミッター、平行放射線デテクタ(52)または適当装置をこのプレート上に配置し、またはこれらの放射線をプレートから反射させ、この走査装置をフライング・スポット・スキャナー、テレビイメージ・ディセクタまたはテレビディスプレーとして容易に作動させる事ができる。この走査デバイスはモノリシック集積回路として簡単に製造する事ができる。
Claim (excerpt)：
基板と、 前記基板上に配置された可撓性継手と、 前記可撓性継手に取り付けられた支持体と、 前記基板と、可撓性継手と、前記支持体との少なくとも1つの上に形成されて前記支持体を基板に対して運動させるアクチュエータと、 前記支持体の上側面に配置された放射線コリメート素子とを含む事を特徴とする走査デバイス。
IPC (4)：
H04N 3/10 ,  G02B 26/08 ,  H01L 31/0232 ,  H01L 41/09
FI (4)：
H04N 3/10 ,  G02B 26/08 E ,  H01L 41/08 C ,  H01L 31/02 D
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 特開平4-140707
  • 特開昭61-205913
  • 振動子及び光スキャナ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-100433   Applicant：オムロン株式会社
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