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J-GLOBAL ID：200903078054478156

研磨材の回収装置

Inventor： 松本 章 ,  埜村 誠
Applicant, Patent owner： 栗田工業株式会社
Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000006759
Publication number (International publication number)：2001198825
Application date： Jan. 14, 2000
Publication date： Jul. 24, 2001
Summary：

【要約】【課題】 装置の運転停止に当たり、弁の切り換えのみで膜分離装置を膜の目詰まりを防止した条件下に簡単に保管する。膜分離装置の長期安定運転を可能とすると共に、装置のランニングコストを低減して、長期間安定して研磨材を効率良く回収再利用する。【解決手段】 研磨工程排水を膜分離装置2及び遠心分離機3で処理して研磨材を回収する装置であって、装置の運転停止中に膜分離装置2の膜透過水を循環する循環手段を設ける。

Claim (excerpt)：

研磨工程排水中の粗大固形物を除去する膜分離手段と、研磨材を回収するための固液分離手段とを有する研磨材の回収装置であって、前記膜分離手段の運転停止時に膜透過水を該膜分離手段の導入側に循環する循環手段を設けたことを特徴とする研磨材の回収装置。

IPC (4)：

B24B 57/02 ,  C02F 1/38 ,  C02F 1/44 ,  H01L 21/304 622

FI (4)：

B24B 57/02 ,  C02F 1/38 ,  C02F 1/44 A ,  H01L 21/304 622 E

F-Term (22)：

3C047FF08 ,  3C047GG14 ,  3C047GG17 ,  4D006GA07 ,  4D006JA56A ,  4D006JA70A ,  4D006KA02 ,  4D006KA53 ,  4D006KA63 ,  4D006KA72 ,  4D006KB14 ,  4D006KB20 ,  4D006KB30 ,  4D006KD30 ,  4D006PB08 ,  4D006PB20 ,  4D006PC01 ,  4D037AA13 ,  4D037AB02 ,  4D037BA28 ,  4D037CA02 ,  4D037CA03