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J-GLOBAL ID：200903078088124329
セラミックスヒーター
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992302351
Publication number (International publication number)：1994151332
Application date： Nov. 12, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：
【要約】【目的】 加熱能力が向上するとともに、プラズマの発生位置をウェハーWの近傍にすることができるセラミックスヒーターを提供する。【構成】 緻密なセラミックス基材2に高融点金属からなる抵抗発熱体3を埋設したセラミックスヒーター1において、プラズマ発生用電極6を前記セラミックス基材2に埋設し、ウェハーWの設置面に対し前記プラズマ発生用電極6が絶縁性を有する構造とする。
Claim (excerpt)：
緻密なセラミックス基材に高融点金属からなる抵抗発熱体を埋設したセラミックスヒーターにおいて、プラズマ発生用電極を前記セラミックス基材に埋設し、ウェハー設置面に対し前記プラズマ発生用電極が絶縁性を有する構造としたことを特徴とするセラミックスヒーター。
IPC (3)：
H01L 21/205
, H01L 21/302
, H05B 3/20 356
