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J-GLOBAL ID：200903078108385817
プローブカード
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 利之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993263142
Publication number (International publication number)：1995098330
Application date： Sep. 28, 1993
Publication date： Apr. 11, 1995
Summary：
【要約】【目的】 基板よりも線膨張率の小さい支持板を基板に固定して、この支持板に針押さえを固定することにより、基板が熱変形を生じてもプローブ針の支持部の高さ位置があまり変動しないようにする。【構成】 プローブカードは、ガラスエポキシ製の基板36と、窒化アルミニウム系セラミックス製の支持板42と、快削セラミックス製の針押さえ32と、プローブ針30とからなる。針押さえ32は締結装置40によって支持板42に固定され、支持板42は別の締結装置44によって基板36に固定されている。被検体を高温で検査すると、被検体及びチャックトップからの放射熱や、プローブ針からの伝導熱によって、基板36は下に凸になるように変形する。しかし、針押さえ32は線膨張率の小さい支持板42に固定されているので、針押さえ32の高さ位置の変動は従来よりも小さくなる。
Claim (excerpt)：
複数のプローブ針と、これらのプローブ針の先端位置が被検体の電極配置に対応するようにプローブ針を固定する針押さえと、プローブ針と外部の検査装置とを電気的に接続するための配線パターンを形成した基板とを備えるプローブカードにおいて、前記基板よりも線膨張率の小さい支持板を前記基板に固定し、この支持板に前記針押さえを固定し、前記基板と前記支持板との固定位置を、前記支持板と前記針押さえとの固定位置よりも、基板の外周側に位置させたことを特徴とするプローブカード。
Patent cited by the Patent：
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