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J-GLOBAL ID：200903078134521982

酸化亜鉛薄膜の製造方法

Inventor： 大山 正嗣 ,  作花 濟夫 ,  横尾 俊信
Applicant, Patent owner： 出光興産株式会社
Agent (1)： 大谷 保
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992104361
Publication number (International publication number)：1993294623
Application date： Apr. 23, 1992
Publication date： Nov. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 均一かつ緻密でC軸が基板の表面に垂直に配向した酸化亜鉛薄膜を簡便かつ低コストで製造する方法の開発。【構成】 亜鉛化合物,溶媒および沸点250°C以下の含窒素有機化合物を混合し、加温,攪拌して塗布液を調製し、次いで該塗布液を基板に塗布したのち、熱処理してなる酸化亜鉛薄膜の製造方法。

Claim (excerpt)：

亜鉛化合物,沸点が250°C以下の含酸素有機化合物および沸点が250°C以下の含窒素有機化合物を混合し、35〜120°Cに加温,攪拌して塗布液を調製し、次いで該塗布液を基板に塗布したのち、熱処理することを特徴とする酸化亜鉛薄膜の製造方法。