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J-GLOBAL ID：200903078145649611

圧力制御式バルブを有する微小ケミカルデバイス

Inventor： 穴澤 孝典 ,  寺前 敦司
Applicant, Patent owner： 財団法人川村理化学研究所
Agent (1)： 高橋 勝利
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001041595
Publication number (International publication number)：2002239374
Application date： Feb. 19, 2001
Publication date： Aug. 27, 2002
Summary：

【要約】【課題】 本発明が解決しようとする課題は、構造が簡単で耐圧性が高く、且つ容易に製造できるバルブ機構を有する微小ケミカルデバイスを提供することにある。【解決手段】 エネルギー線硬化性組成物の硬化物で形成されたダイヤフラムにより、流体流量を調節する圧力制御式バルブを有する微小ケミカルデバイス、特にダイヤフラムが厚み1〜500μmで、引張弾性率1〜700MPaの範囲の素材で形成されている微小ケミカルデバイス、及びその製造方法。

Claim (excerpt)：

エネルギー線硬化性組成物の硬化物で形成されたダイヤフラムにより、流体流量を調節する圧力制御式バルブを有する微小ケミカルデバイス。

IPC (5)：

B01J 19/00 ,  C08F 2/46 ,  F16K 7/12 ,  F16K 7/17 ,  F16K 31/126

FI (5)：

B01J 19/00 G ,  C08F 2/46 ,  F16K 7/12 A ,  F16K 7/17 B ,  F16K 31/126 Z

F-Term (28)：

3H056AA07 ,  3H056BB24 ,  3H056BB32 ,  3H056CA08 ,  3H056EE01 ,  3H056GG11 ,  4G075AA39 ,  4G075AA61 ,  4G075CA05 ,  4G075FC10 ,  4J011AC04 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA19 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA39 ,  4J011QA45 ,  4J011QA46 ,  4J011QB05 ,  4J011QB16 ,  4J011QB19 ,  4J011QB24 ,  4J011QC10 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA07