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J-GLOBAL ID：200903078149904721

素子内部検査装置および方法

Inventor： 木村 馨 ,  梅津 暢彦 ,  菊池 啓記
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 藤島 洋一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000125002
Publication number (International publication number)：2000346802
Application date： Mar. 22, 2000
Publication date： Dec. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】 レーザ劣化による微小な欠陥を精度良く測定することを可能とする素子内部検査装置および素子内部検査方法を提供する。【解決手段】 レーザ光源1は、被検素子2の内部に微小な欠陥を発生させることが可能な波長および強度を有するレーザ光8を出力する。レーザ光8は、被検素子2に入射し、その内部に欠陥を発生させる。これと同時に、その生成された欠陥は、同じレーザ光8によって照明され、そこから散乱光・発光が生ずる。この散乱光・発光は像としてビデオカメラ5によって捉えられる。結局、レーザ光8は、被検素子2に損傷を与えて欠陥を発生または成長させてそこでの散乱強度などを強くするという役割を担うと同時に、発生または成長させた欠陥を照明する照明光としても作用する。この結果、レーザ光による被検素子2の劣化現象をリアルタイムに観測することが可能となる。

Claim (excerpt)：

被検素子内部の状態または性質に関する情報を得るための素子内部検査装置であって、前記被検素子の内部に入射してそこに微小な欠陥を発生させることが可能な特性を有する損傷光を出力する光源と、前記損傷光の入射により被検素子の内部に欠陥が生成される過程と並行して、その欠陥において散乱されあるいは発生した検出対象光を検出し、その検出対象光により形成される像を取得する像取得手段とを備えたことを特徴とする素子内部検査装置。

IPC (6)：

G01N 21/64 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/49 ,  G01N 21/63 ,  G01N 21/95

FI (7)：

G01N 21/64 E ,  G01M 11/00 L ,  G01M 11/00 T ,  G01N 21/27 E ,  G01N 21/49 Z ,  G01N 21/63 Z ,  G01N 21/95 Z