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J-GLOBAL ID：200903078166876081

ガスセンサ

Inventor： 江頭 信正
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 金山 敏彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993060693
Publication number (International publication number)：1994273303
Application date： Mar. 19, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】【目的】 信頼性が高く寿命の長いLB膜を用いたガスセンサを提供する。【構成】 本発明のガスセンサにおいて、ガスセンサの振動素子は、Si基板10に片持ちはり形状のシリコンカンチレバー12が形成されている。シリコンカンチレバー12の上面であって固定端の近傍には、発光素子24aの加熱光を吸収する薄膜14Aが、またレバーの上面であって先端近傍には、発光素子26aの定常光を反射し、発光素子28aの加熱光を吸収する薄膜14Bが成膜されている。また、薄膜14Bの上面の一部分には、ガス分子を吸着するガス分子吸着膜16が成膜されている。薄膜14Aの上方には、薄膜14Aを加熱する光を照射する励起用光ファイバ18が、また薄膜14Bには、検出/加熱用光ファイバ20が設けられている。従って、受光素子28aにより薄膜14Bの加熱により、ガス分子吸着膜16よりガス分子を脱離することができる。

Claim (excerpt)：

一方端が固定された薄板状の共振部材と、前記共振部材上の第一の領域に加熱光を周期的に照射し、前記共振部材に周期的に熱ストレスを加えることにより振動を生じさせる加熱光照射手段と、前記共振部材上の第二の領域に定常光を照射する定常光照射手段と、前記第二の領域から反射された、前記定常光の反射光を受光し、その受光した光の強度信号を前記加熱光照射手段にフィードバックし、前記共振部材にその共振周波数による振動を生じさせる受光手段と、前記第二の領域の近傍に設けられたガス分子吸着膜と、前記受光手段が受光した光の強度信号の強度変化の周期を監視することにより前記共振周波数を検知する、周波数検知手段と、を含み、前記周波数検知手段により検知された周波数により前記ガス分子吸着膜に吸収されたガスの量を判別し、そのガスの量から、周囲のガス濃度を計測するガス濃度計測装置において、前記第二の領域に一定強度の第二の加熱光を照射する第二の加熱光照射手段、を備え、前記第二の領域には、前記定常光を反射し、前記第二の加熱光を吸収する光学膜が設けられており、前記第二の加熱光が前記第二の領域に照射されることにより、前記ガス分子吸着膜が加熱され、前記ガス分子吸着膜に吸収されたガスが前記ガス分子吸着膜から放出されることを特徴とするガスセンサ。