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J-GLOBAL ID：200903078167712120

気体中の不純物濃度の測定装置

Inventor： 溝上 員章
Applicant, Patent owner： 株式会社日本エイピーアイ
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995254415
Publication number (International publication number)：1997061402
Application date： Aug. 27, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：

【要約】【目的】 コロナ放電を用いた気体中の不純物濃度の測定装置において、成分の分離手段を備えることにより、ガス中の不純物成分の同定を可能とし、さらに、ガス吸引による分析を可能とする。【構成】 高純度ガスの供給部27と放電室11の間にサンプルガスの供給部23を備え、サンプルガスが成分の分離手段34を介して供給される。また、放電室11の測定ガス流出口14に排気手段44を備え、サンプルガスの吸引が可能となっている。

Claim (excerpt)：

コロナ放電の放電電流が一定となるようにした高圧定電流電源により印加された測定ガスが通流する放電室内の放電針と対向電極間の電位差の変化により気体中の不純物濃度を測定する測定装置において、不純物を除去した高純度ガスの供給部と放電室の間にサンプルガスの供給部を備え、サンプルガスが成分の分離手段を介して供給されることを特徴とする気体中の不純物濃度の測定装置。