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J-GLOBAL ID：200903078193637218
プラズマ処理装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
油井 透 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996328562
Publication number (International publication number)：1998172794
Application date： Dec. 09, 1996
Publication date： Jun. 26, 1998
Summary：
【要約】【課題】 高周波整合器を処理容器の本体側に移すことで、蓋体の上部空間を空けて、蓋体開閉の補助機構を簡素化し、且つ蓋体開閉時に自動的に高周波電力の給電線の接続、切断ができるようにする。【解決手段】 真空処理容器1に取り付けるインピーダンス整合用の高周波整合器8を、蓋体1bではなく、本体1a側に取り付ける。高周波整合器8を本体1a側に取り付けることにより、蓋体1bを開閉する際に、高周波整合器8から高周波電極4に高周波電力を給電する給電線9を切断/接続する必要が生じるが、それを行うために給電線9を高周波電力用コネクタ11で接続する。コネクタ11には多点接触子を用いて、蓋体1bの開閉にともなって、給電線9が相対向する多点接触子間に挿抜されるようにする。
Claim (excerpt)：
本体と蓋体とで構成される処理容器の蓋体に電極が設けられ、該電極に高周波整合器から給電線を介して高周波電力を供給し、プラズマを発生して処理容器内の被処理物を処理するプラズマ処理装置において、上記高周波整合器を上記処理容器の本体側に取り付け、蓋体を開閉できるように上記高周波整合器から上記電極に高周波電力を供給する給電線をコネクタによって接続及び切断する構造としたことを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (4)：
H05H 1/46
, C23C 16/50
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
H05H 1/46 R
, C23C 16/50
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
