多層薄膜の膜厚検出方法および装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小林将高
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994089517
Publication number (International publication number)：1995294220
Application date： Apr. 27, 1994
Publication date： Nov. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】多層薄膜の膜厚検出を高速、かつ高精度に検出可能とする。【構成】試料10に白色光源1から白色光を光ファイバ2を介して照射し、試料10より反射した光を光ファイバ3を介して分光器4に入射させて分光し、そのスペクトルを高速フーリエ変換してエネルギースペクトルをマルチチャネルディテクタ5から得た後、信号処理器7で信号処理して多層薄膜の膜厚を得る構成を特徴としている。

Claim (excerpt)：

多層薄膜試料に白色光を照射し、該試料より反射した光を分光し、そのスペクトルを高速フーリエ変換してエネルギースペクトルを得、その波形を処理して薄膜の膜厚を得ることを特徴とする多層薄膜の膜厚検出方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (14)

特開平2-287106
特開平4-066806
特開平4-066806

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