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J-GLOBAL ID：200903078208422140

露光方法

Inventor： 下山 隆司
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 志賀 正武 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998216316
Publication number (International publication number)：2000049078
Application date： Jul. 30, 1998
Publication date： Feb. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】 テスト露光する際にも一枚の感光基板に、より多くの条件で露光する。【解決手段】 並列する複数の光路に対しマスクMと感光基板Pとを同期移動して複数の光路のそれぞれからの露光光によりマスクMの像を感光基板Pの複数の転写領域に走査露光する。複数の転写領域のうち第1の転写領域への露光量と、第1の転写領域とは異なる第2の転写領域への露光量とが異なるように、複数の光路毎に露光光のエネルギ量を設定する。

Claim (excerpt)：

並列する複数の光路に対しマスクと感光基板とを同期移動して前記複数の光路のそれぞれからの露光光により前記マスクの像を前記感光基板の複数の転写領域に走査露光する露光方法において、前記複数の転写領域のうち第1の転写領域への露光量と、該第1の転写領域とは異なる第2の転写領域への露光量とが異なるように、前記複数の光路毎に前記露光光のエネルギ量を設定することを特徴とする露光方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521

FI (4)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 D

F-Term (14)：

2H097AB09 ,  2H097BB01 ,  2H097CA06 ,  2H097GA43 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F046BA05 ,  5F046CB08 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC13 ,  5F046DA02 ,  5F046DB01 ,  5F046DB12