フィルターシート及び該フィルターシート使用のホトレジスト組成物精製法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：ウオーレン・ジー・シミオール
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998509130
Publication number (International publication number)：2000516133
Application date： Jul. 30, 1997
Publication date： Dec. 05, 2000
Summary：

【要約】内部に固定した微粒ろ過助剤と微粒イオン交換樹脂粒子を有する自立繊維マトリックスからなり、その微粒ろ過助剤と微粒イオン交換樹脂粒子が自立繊維マトリックスの横断面全体に実質的に均一に分散されているフィルターシートが提供される。そのフィルターシートにホトレジスト溶液を通過させてイオン不純物を除去することからなるホトレジスト溶液からのイオン不純物の除去法も提供される。

Claim (excerpt)：

内部に固定した微粒ろ過助剤と微粒イオン交換樹脂粒子を有する自立繊維マトリックスからなり、前記微粒ろ過助剤と微粒イオン交換樹脂粒子が前記マトリックスの横断面全体に実質的に均一に分散されていることを特徴とするフィルターシート。

IPC (3)：

B01D 39/14 , B01J 20/26 , B01J 39/20

FI (3)：

B01D 39/14 L , B01J 20/26 C , B01J 39/20 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開昭56-112549
特開昭55-039277
特開昭63-263099

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