Pat

J-GLOBAL ID：200903078240591140

角速度検出装置

Inventor： 持田 洋一
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996233574
Publication number (International publication number)：1998062177
Application date： Aug. 15, 1996
Publication date： Mar. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】 振動板の中空穴内には固定板を配設し、振動板の変位を固定板と中空穴内面との距離により検出し、固定板の上下の変位を差動容量として検出することによりノイズを除去した上に出力を大きくし、検出感度を高める。【解決手段】 基板62上に固定された各支持部65には、水平方向と垂直方向に振動可能に支持される振動板67を各支持梁66によって支持し、振動板67は下側板体68と上側板体69を中空穴を介して形成する。振動板67の中空穴内には固定板78を配設する。そして、振動板67をB方向に振動させた状態でY軸周りの角速度Ωが加わると、振動板67はF方向にコリオリ力により変位する。この変位を固定板78と下側板体68、固定板78と上側板体69との離間寸法による静電容量を別個に検出し、差動容量を演算するにより角速度Ωを高感度に検出することができる。

Claim (excerpt)：

基板と、該基板上に離間して設けられた一対の支持部と、該各支持部から互いに近接する方向に伸長して設けられた支持梁と、該各支持梁の先端側に位置して前記基板に対して水平方向と垂直方向に変位可能に設けられた振動部と、該振動部に水平方向の振動を与える振動発生手段と、前記基板に固着して設けられ、該振動発生手段によって前記振動部に水平方向の振動を与えた状態で角速度によって垂直方向に生じる変位を検出する変位検出手段とからなる角速度検出装置において、前記振動部は、その内部を水平方向に貫通した空間からなる中空穴を有する中空構造の振動板によって構成し、前記変位検出手段は、前記中空穴内に配設された固定板と、該固定板の一面と中空穴の対向面との間で前記振動部の垂直方向の変位を静電容量の変化として検出する第1の検出部と、該固定板の他面と中空穴の対向面との間で前記振動部の垂直方向の変位を静電容量の変化として検出する第2の検出部とから構成したことを特徴とする角速度検出装置。

IPC (3)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z