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J-GLOBAL ID：200903078242408114

湿度センサの製造法

Inventor： 藤澤 直広
Applicant, Patent owner： エヌオーケー株式会社
Agent (1)： 吉田 俊夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997049837
Publication number (International publication number)：1998232213
Application date： Feb. 18, 1997
Publication date： Sep. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】 絶縁性基板上に下部電極、ポリエーテルスルホン感湿膜および上部電極を順次形成させた静電容量式湿度センサにおいて、ポリエーテルスルホン感湿膜の乾燥成膜工程を空気中において行っても孔などの形成のみられない湿度センサの製造法を提供する。【解決手段】 上記湿度センサの製造法において、キシレンに対して1.8〜2.2倍の容積比を有するN-メチル-2-ピロリドンの混合溶媒に溶解させたポリエーテルスルホンの溶液を下部電極上に塗布し、加熱してポリエーテルスルホン感湿膜を形成させる。

Claim (excerpt)：

絶縁性基板上に下部電極、感湿膜および上部電極を順次形成させた静電容量式湿度センサにおいて、キシレンに対して1.8〜2.2倍の容積比を有するN-メチル-2-ピロリドンの混合溶媒に溶解させたポリエーテルスルホンの溶液を下部電極上に塗布し、加熱してポリエーテルスルホン感湿膜を形成させることを特徴とする湿度センサの製造法。

IPC (3)：

G01N 27/22 ,  G01N 27/02 ,  G01W 1/11

FI (3)：

G01N 27/22 A ,  G01N 27/02 A ,  G01W 1/11 F