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J-GLOBAL ID：200903078253182258

導電膜のコンタクト構造

Inventor： 輝平 淳也
Applicant, Patent owner： カシオ計算機株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994165401
Publication number (International publication number)：1996031822
Application date： Jul. 18, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】上層導電膜のコンタクト孔内に堆積した部分と下層導電膜との接触面の電流による異常発熱を抑制してコンタクト部の信頼性を高くする。【構成】下層導電膜であるドレイン電極のコンタクト孔対応部分をスリットsにより複数の領域29aに区画することにより、上層導電膜であるデータライン23のコンタクト孔34内に堆積した部分と前記ドレイン電極29との接触面における電流集中部の総長さを長くし、電流集中部の単位長さ当りの電流集中量を少なくして、前記接触面の電流による異常発熱を抑制した。

Claim (excerpt)：

下層導電膜を覆う絶縁膜の上に形成される上層導電膜を、前記絶縁膜に設けたコンタクト孔において前記下層導電膜に接続するコンタクト構造であって、前記下層導電膜と上層導電膜とのうち、いずれか一方の導電膜の前記コンタクト孔に対応する部分が、スリットにより複数の領域に区画されていることを特徴とする導電膜のコンタクト構造。

IPC (6)：

H01L 21/3205 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/41 ,  H01L 29/786 ,  H05K 3/40 ,  H05K 3/46

FI (3)：

H01L 21/88 Z ,  H01L 29/44 Z ,  H01L 29/78 311 S