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J-GLOBAL ID:200903078257805578
半導体装置及びその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
岡田 英彦 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995244685
Publication number (International publication number):1996153734
Application date: Sep. 22, 1995
Publication date: Jun. 11, 1996
Summary:
【要約】【課題】 半導体装置において、電極の構造を改良すること。【解決手段】 半導体基板11、12と、該半導体基板11、12表面に形成された第1電極15aと、該第1電極15a側部に該第1電極15aを挟むように形成された第1絶縁体16a及び第2絶縁体16bと、前記第1電極15a、前記第1絶縁体16a及び第2絶縁体16bの表面に形成され、前記第1電極15aと電気的に接続された第2電極21aと、前記第1絶縁体16aに関して前記第1電極15aと反対側の半導体基板11、12表面に形成された第3電極22aと、前記第2絶縁体16bに関して前記第1電極15aと反対側の半導体基板11、12表面に形成された第4電極23aとを備えたことを特徴とする半導体装置。
Claim (excerpt):
半導体基板と、該半導体基板表面に形成された第1電極と、該第1電極側部に該第1電極を挟むように形成された第1絶縁体及び第2絶縁体と、前記第1電極、前記第1絶縁体及び第2絶縁体の表面に形成され、前記第1電極と電気的に接続された第2電極と、前記第1絶縁体に関して前記第1電極と反対側の半導体基板表面に形成された第3電極と、前記第2絶縁体に関して前記第1電極と反対側の半導体基板表面に形成された第4電極とを備えたことを特徴とする半導体装置。
IPC (8):
H01L 21/338
, H01L 29/812
, H01L 21/28
, H01L 29/205
, H01L 29/41
, H01L 21/331
, H01L 29/73
, H01L 29/778
FI (5):
H01L 29/80 F
, H01L 29/205
, H01L 29/52
, H01L 29/72
, H01L 29/80 H
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開平4-186648
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特開平1-109772
-
特開平2-209737
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