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J-GLOBAL ID：200903078264621318
ポジ型ホトレジスト組成物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
阿形 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991073613
Publication number (International publication number)：1993158232
Application date： Mar. 14, 1991
Publication date： Jun. 25, 1993
Summary：
【要約】【構成】 (A)ノヒドロキシスチレンとメチルメタクリレートとの共重合体、(B)キノンジアジド基含有化合物、(C)熱硬化性樹脂及び場合により(D)一般式【化1】(Z:4-低級アルコキシフェニル基、4-低級アルコキシナフチル-(1)基、水酸基やカルボキシル基を有する4-低級アルコキシナフチル基)で表わされるトリアジン化合物を含有するポジ型ホトレジスト組成物。【効果】 集光性の高い優れた形状を有し、かつ透明性の良好なマイクロレンズを形成することができる。
Claim (excerpt)：
(A)ヒドロキシスチレンとメチルメタクリレートとの共重合体、(B)キノンジアジド基含有化合物及び(C)熱硬化性樹脂を含有して成るポジ型ホトレジスト組成物。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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