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J-GLOBAL ID：200903078275583590
赤外線検出素子
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松本 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992038105
Publication number (International publication number)：1993231946
Application date： Feb. 25, 1992
Publication date： Sep. 07, 1993
Summary：
【要約】【目的】 熱絶縁膜を薄くしても、内部応力による歪みや破壊が生じず、製造歩留りが高く、使用時には高い感度および耐久性を示す赤外線検出素子を提供する。【構成】 熱絶縁膜上に、一対の電極層30、50および両電極層30、50の間に挟まれたサーミスタ層40を含む複数層の膜状体を備えた赤外線検出素子において、少なくとも1層の膜状体が、切れ目で分離された帯状の細幅部分が折り返し連続して並んでいるなどのパターンで、細幅に分離形成されている。
Claim (excerpt)：
熱絶縁膜上に、一対の電極層および両電極層の間に挟まれたサーミスタ層を含む複数層の膜状体を備えた赤外線検出素子において、少なくとも1層の膜状体が、細幅に分離形成されていることを特徴とする赤外線検出素子。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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