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J-GLOBAL ID：200903078276761298

半導体露光装置

Inventor： 佐藤 義行 ,  黒木 洋一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994150622
Publication number (International publication number)：1995335539
Application date： Jun. 09, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】 エラーが発生した際にオペレータに適切な対処方法をすみやかに伝えて迅速な対応ができるようにする。【構成】 表示手段と、操作者の種類と装置で生じるエラーの種類とに応じた表示データを記憶する記憶手段と、現在設定されている操作者の種類を示す操作者データと装置で生じたエラーの種類を示すエラーデータとに対応する前記表示データを前記記憶手段から読み出して前記表示手段上に表示するデータ処理手段とを具備する。

Claim (excerpt)：

表示手段と、操作者の種類と装置で生じるエラーの種類とに応じた表示データを記憶する記憶手段と、現在設定されている操作者の種類を示す操作者データと装置で生じたエラーの種類を示すエラーデータとに対応する前記表示データを前記記憶手段から読み出して前記表示手段上に表示するデータ処理手段とを具備することを特徴とする半導体露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 516 Z ,  H01L 21/30 514 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 自動処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-188468   Applicant：株式会社日立製作所