液晶パネルの位置決め装置及びパターン検査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992329617
Publication number (International publication number)：1994174448
Application date： Dec. 09, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】本発明は、液晶パネルの透明導電膜やその他のコーティング膜の膜厚や膜質の変動に対しても、安定して位置決め用マーク及び透明導電膜のパターンを検出することのできる位置決め装置、パターン検査装置を提供するところにある。【構成】本発明は、ガラス基板面に垂直に照明する落射照明の光源からの光の波長域を限定する波長限定手段を有する、あるいはその波長限定手段において、波長を限定しない場合を含め複数の波長域を選択できるような切り換え機構を設けたもの、あるいはその波長域を決定するために輝度のヒストグラム算出手段、あるいは膜厚測定手段を有する。

Claim (excerpt)：

ガラス基板上の透明導電膜により形成された位置決め用マークを検出することにより位置ずれ量を計測し補正する装置において、前記ガラス基板面に垂直に照明する落射照明手段と、その光源からの光の波長域を限定する波長限定手段と、前記位置決めマークを撮像する撮像手段と、位置ずれ量を算出するずれ量算出手段と、このずれ量に従って位置の補正を行う位置補正手段とを有することを特徴とする液晶パネルの位置決め装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 , G01N 21/88

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平1-136002
特開平1-263507
特開平4-323621

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