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J-GLOBAL ID：200903078312814140
表面形状欠陥検査方法及びそれを用いた表面欠陥検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997303788
Publication number (International publication number)：1999118449
Application date： Oct. 17, 1997
Publication date： Apr. 30, 1999
Summary：
【要約】【課題】 感光体ドラム表面の緩やかな凹凸形状の欠陥を簡単な検出系で感度よく、効率的に検出することのできる表面欠陥検査方法及びそれを用いた表面欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】 平行光束を被検査物である感光体ドラムの表面に平行光を斜めに照射する投光光学系と、平凸型シリンドリカルレンズの拡大光学系、スリットを有する受光マスク板、受光器のCCDラインセンサーの受光素子列で構成される受光光学系を持ち、受光マスク板のスリット及び受光素子列の長手方向を受光光学系の光軸に垂直な平面内で感光体ドラムの中心軸の射影成分と平行に配するとともに、平凸シリンドリカルレンズが感光体ドラムの中心軸方向の正反射光を拡大することを特徴とする表面欠陥検査方法及びそれを用いた表面欠陥検査装置。
Claim (excerpt)：
感光体ドラム表面等、鏡面状の滑らかな表面を持つ被検査物の欠陥を検査する装置において、該装置は被検査物に平行な検査照射光を当てる投光光学系と、前記被検査物からの正反射光を受光する受光光学系、及び該受光光学系で得られた電気信号を処理する処理手段から構成されていることを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/30 A
, G02B 6/00 C
