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J-GLOBAL ID：200903078315016627

間隙設定機構を備えたプロキシミティ露光装置

Inventor： 鈴木 信二
Applicant, Patent owner： ウシオ電機株式会社
Agent (1)： 長澤 俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997075564
Publication number (International publication number)：1998268525
Application date： Mar. 27, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ガラス面のように反射率の低い部分でも充分な検出感度を得ることができる間隙設定機構を備えたプロキシミティ露光装置を提供すること。【解決手段】 間隙測定部10には、測定用光源とピンホール板と対物レンズと受光器等が設けられており、上記測定用光源からでた光を上記ピンホール板、対物レンズを介してマスク/ワーク面に照射し、その反射光を対物レンズ、ピンホール板を介して上記受光素子で受光する。マスク/ワーク面が対物レンズの対物面側焦点にあるとき、受光器には強度の大きな反射光が入射する。マスクとワークの間隙を測定するには、間隙測定部10をZ方向に移動させて、マスクMとワークWの2つの反射光強度のピークを検出し、そのときの間隙測定部10の位置からマスクMとワークWの間隙を求める。マスクMとワークWの間隙を測定したら、マスクMとワークWの間隙を所望に値に設定し露光を行う。

Claim (excerpt)：

紫外線を照射する紫外線照射部と、マスクを保持するマスクステージ部と、ワークを上記マスクに間隙を設けて近接させた状態で保持するワークステージ部と、上記ワークステージに接続され上記ワークと上記マスクとの上記間隙を調整する間隙調整機構と、間隙測定部と、該間隙測定部を上記マスクおよび上記ワークに対して垂直方向に連続的もしくは逐次的に移動させる間隙測定部移動機構と、上記間隙測定部の位置を検出する位置検出器と、マスクとワークの間隙を演算する演算部とを具備し、上記間隙測定部は、測定用光源と、ビームスプリッタと、ピンホール板と、対物レンズおよび受光器を具備し、上記測定用光源は、該光源から放射された光が上記ビームスプリッタを介して上記ピンホール板に集光されるように配置され、上記ピンホール板は、上記対物レンズの対物面側焦点とは反対側の焦点であって、上記ピンホール板を通過した上記測定用光源からの光が上記対物レンズの対物面側焦点に集光する位置に配置され、上記受光器は、上記対物レンズおよび上記ピンホールを通過し、前記ビームスプリッタを通ってきた上記マスクおよび上記ワークからの反射光を受光する位置に配置され、上記演算部は、上記受光器からの出力信号および上記位置検出器からの出力信号とから上記間隙の値を演算することを特徴とする間隙設定機構を備えたプロキシミティ露光装置。

IPC (2)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 511