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J-GLOBAL ID：200903078315391991

光・電気・機械デバイスまたはフィルタ、その製造方法、およびそれらから製造されるセンサ

Inventor： ガッケル,ヘンリー ,  ズーク,ジェイムス・ディ ,  バーンズ,デビッド・ダブリュ
Applicant, Patent owner： ハネウエル・インコーポレーテッド
Agent (1)： 山川 政樹 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995500946
Publication number (International publication number)：1996511355
Application date： May. 25, 1994
Publication date： Nov. 26, 1996
Summary：

【要約】本発明は、振動運動が、光起電力エネルギー変換デバイス上に投げかけられる放射エネルギーに結合される、共振半導体部材を使用する、デバイスおよびその応用例に関する。本発明は、振動動作がその他の方法で影響を受け、その影響が光学的に読み取られる、そのようなデバイスにも関する。光学方法を使用して、マイクロビームを駆動し、マイクロビームの振動を検知し、ある条件が満たされた場合、電子光学構成要素を介在させずに自己共振を発生させ、そのため、圧電抵抗器、駆動電極、電気接点、および電気的相互接続用の金属被膜が不要になる。ウェハのキャビティまたはその他の空間のほぼ全体にわたって、あるいは完全に全体にわたって延びる、一方の電気型(pまたはn)の共振マイクロ構造体部材をウェハの上方に形成する。キャビティの壁またはフロアのある位置に、逆の型(pまたはn)の材料の領域がある。この2つの型の間の界面は、p-n接合部であり、光起電力構造の最もよく知られている態様である。可とう性部材および逆の型の領域はほぼ、駆動放射エネルギーの経路中にあるべきである。本発明のデバイスは、光・電子・機械的に結合されたホトダイオードとして働き、入射駆動光によって可とう性部材を逆の型の領域に静電的に引きつけさせる。可とう性部材を基板あるいは一体型カバーまたは頂部キャップに近接させると、部材のわずかな変位によって反射光の強度を大きな変調することができるファブリ・ペロー干渉計が形成される。好ましい態様は、真空排気されたカプセル内に位置する振動部材を有する。頂部キャップが前記部材の一方の面を密封し、前記部材が取り付けられ、あるいは形成されたウェハが他方の面を密封する。圧力センサ、加速度計、音響範囲装置、温度感応装置などの応用例がある。

Claim (excerpt)：

1つの半導体本体上に一体に形成された共振マイクロ構造体において、前記本体が、第1の電気型の材料のものであり、少なくとも1つの位置に逆の型の電気型の材料の領域を有し、 前記少なくとも1つの位置がキャビティであり、前記キャビティが、前記第1の型の材料の平坦な可とう性材料であることを特徴とする共振マイクロ構造体。

IPC (8)：

G02B 26/00 ,  G01D 21/00 ,  G01J 1/02 ,  G01K 7/32 ,  G01K 11/26 ,  G01L 9/00 ,  G01P 15/10 ,  H01L 31/10

FI (8)：

G02B 26/00 ,  G01D 21/00 G ,  G01J 1/02 Y ,  G01K 7/32 Z ,  G01K 11/26 ,  G01L 9/00 C ,  G01P 15/10 ,  H01L 31/10 Z