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J-GLOBAL ID：200903078329425910

半能動型除振装置、半能動型ダンパ装置、半能動型剛性機構装置、縮小投影露光装置及びその半能動型除振方法

Inventor： 栗原 雅樹 ,  礒谷 仁 ,  小林 功 ,  大竹 生司
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 鵜沼 辰之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992196993
Publication number (International publication number)：1994042578
Application date： Jul. 23, 1992
Publication date： Feb. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 縮小投影露光装置等の機器においては、床面の振動により精度が低下するため、除振装置が用いられる。しかしながら、ウェーハーを移動させるのに用いる移動台の稼働時の反力により機器全体の振動が発生してしまう。本発明の目的は、安価な半能動型な制振を可能にする除振装置を提供することにある。【構成】 本発明は、受動型除振装置と並列に、受動型ダンパ部材もしくは受動型バネ部材と電磁石及びこれを制御するコントローラから構成される半能動型ダンパ装置もしくは半能動型剛性機構装置を設けたものである。【効果】 本発明によれば、機器内の移動装置の反力に対する制振効果と床振動に対する除振効果を両立させることができる。このため、移動台を組み込んだ機器の精度を向上させる効果が得られる。

Claim (excerpt)：

水平方向のステップ入力及び床振動を受ける構造体と除振台とからなる除振装置において、前記構造体と前記除振台との間に半能動型ダンパ装置が設けられ、前記半能動型ダンパ装置は、前記除振台の有する除振手段とは異なる受動型ダンパ部材と、この受動型ダンパ部材の減衰力を前記構造体に伝える能動型伝達装置と、この能動型伝達装置を制御するコントローラとから構成されていることを特徴とする半能動型除振装置。

IPC (5)：

F16F 15/02 ,  F16F 15/03 ,  G02B 27/18 ,  G05D 19/02 ,  H01L 21/027