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J-GLOBAL ID：200903078348765943

マイクロメカニカルリレー

Inventor： ヘルムート シュラーク ,  ヨアヒム シムカート
Applicant, Patent owner： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995268708
Publication number (International publication number)：1996227646
Application date： Oct. 17, 1995
Publication date： Sep. 03, 1996
Summary：

【要約】【課題】 マイクロメカニカルリレーの接極子のばね舌状部が可及的にわずかな面しか必要とせず,しかしそのばね力が大きくて可及的に大きな接触力を生ぜしめ,残りのばね舌状部区分がベース電極に可及的に完全に密着するようにする。【解決手段】 接触ばね区分21がすべての側をばね舌状部20によって取り囲まれていて,リング状に並べらている同じ向きに円弧状に湾曲せしめられた非半径方向のばねウェブ22を介して,ばね舌状部と線対称に結合されている。ばねウェブは,互いにオーバラップしてリング状に配置され,全体として360°を越える角度範囲にわたっている複数のスリット23によって形成されている。

Claim (excerpt)：

ベース基体(10)と,このベース基体(10)上に位置する接極子基体(1)とを有する静電マイクロメカニカルリレーであって,ベース基体(10)は層状のベース電極(11)とベース接触片(13)とを有しており,接極子基体(1)は,それに一端部だけを結合されているばね舌状部(2;20;30;40)を有しており,このばね舌状部(2;20;30;40)は,層状の接極子電極(5)と,ばね舌状部(2;20;30;40)の自由端部の近くでばね舌状部(2;20;30;40)から部分的に切り離されている接触ばね区分(21;31;41)に設けられた接極子接触片(7)とを有しており,ばね舌状部(2;20;30;40)が休止状態にある場合には,層状の接極子電極(5)と層状のベース電極(11)との間にエアギャップ(14)が形成されており,接極子電極(5)とベース電極(11)との間に制御電圧が印加されることによって作業状態に切り替えられると,ばね舌状部(2;20;30;40)がベース基体(10)に密着して,接触ばね区分(21;31;41)の弾性変形によって接極子接触片(7)とベース接触片(13)とが互いに接触するようになっている形式のものにおいて,接触ばね区分(21;31;41)がすべての側をばね舌状部(20;30;40)によって取り囲まれていて,リング状に並べられている同じ向きに円弧状に湾曲せしめられた非半径方向のばねウェブ(22;32・34;42)を介して,ばね舌状部(20;30;40)と線対称に結合されており,これらのばねウェブ(22;32・34;42)は,互いにオーバラップしてリング状に配置され,全体として360°を越える角度範囲にわたっている複数のスリット(23;33・35;43)によって形成されていることを特徴とする,マイクロメカニカルリレー。