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J-GLOBAL ID：200903078353052491

圧力センサ

Inventor： 加藤 明夫 ,  橋本 匡史 ,  後藤 泰宏
Applicant, Patent owner： 株式会社東海理化電機製作所
Agent (1)： 佐藤 強
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995052596
Publication number (International publication number)：1996247873
Application date： Mar. 13, 1995
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 センサチップのダイヤフラムの背面側を大気圧に保持するための背圧孔を設ける構成で、細管への実装を簡単にして作業性の向上を図る。【構成】 カテーテル11の先端部には検出用窓部11aが形成される。検出用窓部11aの内部側にはシリコン台座12に陽極接合により接着したセンサチップ13が配設されている。センサチップ13のダイヤフラム13aは検出用窓部11aに臨む位置に設けられる。シリコン台座12にはセンサチップ13のダイヤフラム13a背面部の空間部Aに連通する溝部12aがエッチングなどにより形成されており、接着状態で背圧孔15を形成している。この背圧孔15はカテーテル11内を介して大気圧に開放されるので、センサチップ13による圧力測定で温度等の悪影響を受けないようになる。そして、組み立て時には、接着剤14を充填する際に接着剤14が背圧孔15側に回り込まないようになる。

Claim (excerpt)：

細管の先端部に形成した検出用窓部の内側に台座を介してセンサチップを配設し、このセンサチップのダイヤフラムに受ける圧力を電気信号に変換して出力するようにした圧力センサにおいて、前記センサチップのダイヤフラムの背面側に形成された前記台座との間の空間部をそのセンサチップと台座との接触面部を介して前記細管の基部側に連通するように背圧孔を形成したことを特徴とする圧力センサ。

IPC (2)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/00

FI (2)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/00 Z