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J-GLOBAL ID：200903078354173667
ラジカル反応を用いたガラスの表面処理方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992254268
Publication number (International publication number)：1994107437
Application date： Sep. 24, 1992
Publication date： Apr. 19, 1994
Summary：
【要約】【目的】 光学素子の表面に、耐久性のよい反射防止または反射増加効果を有する層を形成する。【構成】 反応ガスを含む雰囲気気体中に配置された電極2に電圧を印加して前記反応ガスに基づくラジカルを発生させる。そして、ガラス5表面の所望の種類の構成原子または構成分子と前記ラジカルとのラジカル反応によって生成された生成物質を気化させる。これにより、ガラス表面部から前記所望の構成原子または分子が取り除かれ、反射防止または反射増加効果を有する層が形成される。
Claim (excerpt)：
反応ガスを含む雰囲気気体中に配置された電極に電圧を印加して前記反応ガスに基づくラジカルを発生させ、ガラス表面の所望の種類の構成原子または構成分子と前記ラジカルとのラジカル反応によって生成された生成物質を気化させることで該ガラス表面部から前記所望の構成原子または分子を取り除くことを特徴とするラジカル反応を用いたガラスの表面処理方法。
IPC (2)：
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