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J-GLOBAL ID：200903078363581565

X線光源装置

Inventor： 西村 靖彦 ,  坂田 篤 ,  井 洋喜 ,  東 博純
Applicant, Patent owner： 株式会社トヨタマックス ,  株式会社豊田中央研究所
Agent (1)： 大川 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998053834
Publication number (International publication number)：1999133195
Application date： Mar. 05, 1998
Publication date： May. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】X線光学系へのデブリの付着を防止し、かつ高強度のX線を安定して発生できるようにする。【解決手段】ターゲット11にレーザー光を照射することによりX線レーザー又はレーザープラズマX線を発生させるX線光源装置において、X線光学系13の光軸Lx をターゲット11の法線LTに対して60〜90度傾斜させた。X線の強度の低下がなく、X線光学系近傍のデブリ量が少ないので、高強度のX線を安定して発生できる。

Claim (excerpt)：

真空槽と、該真空槽内に配置されたターゲットと、該真空槽外部に配置され前記ターゲットにレーザー光を照射することによりレーザープラズマX線を発生させるレーザー光源と、発生したX線を集光するX線光学系とを備えてなるX線光源装置において、前記X線光学系の光軸は前記ターゲットの前記レーザー光が集光された部分からの法線に対して60〜90度傾斜していることを特徴とするX線光源装置。

IPC (4)：

G21K 5/02 ,  G21K 5/08 ,  H05G 2/00 ,  H01J 35/00

FI (4)：

G21K 5/02 X ,  G21K 5/08 X ,  H01J 35/00 ,  H05G 1/00 K

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

• X線発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-216131   Applicant：株式会社ニコン
• X線発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-127600   Applicant：株式会社ニコン
• X線発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-307720   Applicant：株式会社ニコン
• レーザプラズマX線源用ターゲツト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-284698   Applicant：株式会社ニコン
• 特公平4-039221
  
• X線発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-312278   Applicant：株式会社ニコン
• パルスX線照射装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-343482   Applicant：株式会社ニコン
• 軟X線による試料解析装置及びその解析方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-146493   Applicant：株式会社豊田中央研究所
• レーザプラズマX線源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-229174   Applicant：株式会社ニコン