Pat

J-GLOBAL ID：200903078369662214

移動ステージ

Inventor： 村田 憲昭
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993292430
Publication number (International publication number)：1995130639
Application date： Oct. 29, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】 位置決め精度をさらに向上させる。【構成】 レーザ干渉計を用いて二次元平面に沿って移動可能な移動ステージ5の前記レーザ干渉計用の測定基準部3と基板11を載置するために前記移動ステージ上に設けられた基板保持手段12との間の間隔を非接触で計測し、その計測値に基づいて前記レーザ干渉計の出力値に補正を加える手段を有する移動ステージにおいて、 前記測定基準部3と基板保持手段12との間の間隔の測定点またはその近傍の温度を測定する温度測定手段17,18,19と、前記温度測定手段の近傍に設定されたペルチェ素子14,15,16と、前記温度測定手段により測定された値に基き前記測定点またはその近傍の温度を所定値にするために前記ペルチェ素子を駆動制御する手段22,23とを具備する。

Claim (excerpt)：

レーザ干渉計を用いて二次元平面に沿って移動可能な移動ステージの前記レーザ干渉計用の測定基準部と基板を載置するために前記移動ステージ上に設けられた基板保持手段との間の間隔を非接触で計測し、その計測値に基づいて前記レーザ干渉計の出力値に補正を加える手段を有する移動ステージにおいて、前記測定基準部と基板保持手段との間の間隔の測定点またはその近傍の温度を測定する温度測定手段と、前記温度測定手段の近傍に設定されたペルチェ素子と、前記温度測定手段により測定された値に基き前記測定点またはその近傍の温度を所定値にするために前記ペルチェ素子を駆動制御する手段とを具備することを特徴とする移動ステージ。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00