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J-GLOBAL ID:200903078378141626

感放射線性樹脂組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 大島 正孝
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999055879
Publication number (International publication number):2000250208
Application date: Mar. 03, 1999
Publication date: Sep. 14, 2000
Summary:
【要約】【課題】 絶縁性、平坦性、耐熱性、耐薬品性などの諸性能に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができ、かつ、厚膜においても透過率の良好な感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有不飽和化合物、および(a3)前記(a1)および(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物の共重合体、[B]1,2-キノンジアジド化合物並びに[C]分子量1,000以下のカルボン酸を含有する感放射線性樹脂組成物。
Claim (excerpt):
[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有不飽和化合物、および(a3)前記(a1)および(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物の共重合体、[B]1,2-キノンジアジド化合物並びに[C]分子量1,000以下のカルボン酸を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (4):
G03F 7/022 ,  C08F290/00 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/032 501
FI (4):
G03F 7/022 ,  C08F290/00 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/032 501
F-Term (45):
2H025AA00 ,  2H025AA06 ,  2H025AA18 ,  2H025AA20 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB08 ,  2H025CB13 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027BA04 ,  4J027BA05 ,  4J027BA06 ,  4J027BA07 ,  4J027BA08 ,  4J027BA09 ,  4J027BA11 ,  4J027BA13 ,  4J027BA14 ,  4J027BA17 ,  4J027BA19 ,  4J027BA20 ,  4J027BA23 ,  4J027BA24 ,  4J027BA26 ,  4J027BA28 ,  4J027CA10 ,  4J027CA23 ,  4J027CA24 ,  4J027CA25 ,  4J027CA29 ,  4J027CB02 ,  4J027CB03 ,  4J027CB05 ,  4J027CB09 ,  4J027CD04

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