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J-GLOBAL ID：200903078401301989
直流反応スパツタ装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田辺 恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995230784
Publication number (International publication number)：1997053176
Application date： Aug. 15, 1995
Publication date： Feb. 25, 1997
Summary：
【要約】【課題】本発明は、直流反応スパツタ装置において、第1及び第2の電極間に発生する異常放電を有効に防止する。【解決手段】ダイオード及びバリスタを直列に接続した過電圧吸収回路を、第1及び第2の電極を対向させた電極部の電源入力端に並列に接続する
Claim (excerpt)：
第1の電極を第2の電極に対向させた電極部を有し、第1の直流電源が発生した負電圧と、第2の直流電源が周期的に発生した正電圧とを上記第1の電極に印加する直流反応スパツタ装置において、ダイオード及びバリスタが直列に接続され、上記電極部の電源入力端と並行に接続された過電圧吸収回路を具えることを特徴とする直流反応スパツタ装置。
IPC (2)：
FI (2)：
C23C 14/38
, H01L 21/203 S
