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J-GLOBAL ID：200903078416987461

酸化ジルコニウム系前駆体ゲル状物及びその製造方法

Inventor： 林 宏明
Applicant, Patent owner： 株式会社槌屋
Agent (1)： 浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992254482
Publication number (International publication number)：1994107432
Application date： Sep. 24, 1992
Publication date： Apr. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 酸化ジルコニウム前駆体中の残留有機物の減少と前駆体の長期保存を目的とする。【構成】【化1】 化学式、〔R;C1 〜C4 のアルキル基〕を以て表されるような、Zr-O-Zr結合を主鎖とし、O(CH2 )2 NH2基及びOCOR基を側鎖にもつ重合体から成る、酸化ジルコニウム前駆体ゲル状物を、ジルコニウムアルコキシドとエタノールアミン及びカルボン酸との反応及びその化合物の加水分解-重縮合により、構成する。【効果】 ジルコニウムアルコキシドの速い加水分解-重縮合を制御し、比較的ゆっくり、十分に加水分解-重縮合させて、重合体を形成することで、前駆体中の未反応アルコキシ基を著しく減少させることができた。これにより、水分に対しての安定性が非常に高くなり、薄膜作製用酸化ジルコニウム前駆体の長期保存が可能となった。

Claim (excerpt)：

Zr-O-Zr結合を主鎖とし、側鎖にOCOR基(ここで、Rは炭素数1〜4までの直鎖または分岐のあるアルキル基を示す)及びO(CH2 )2 NH2 基を有する重合体から成る、酸化ジルコニウム前駆体ゲル状物。

IPC (2)：

C03C 8/20 ,  C23D 5/02