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J-GLOBAL ID：200903078444131130

微細加工捩り振動子の動的特性の調整

Inventor： ニューカーマンズ、アーモンド、ピー ,  スレーター、ティモシー ,  ダウニング、フィリップ
Applicant, Patent owner： クセロス・インク
Agent (1)： 河上 紘範
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998542011
Publication number (International publication number)：2001519726
Application date： Apr. 01, 1998
Publication date： Oct. 23, 2001
Summary：

【要約】ビームスキャナー、ジャイロ等に用いられる改良された微細加工構造物は、基準部材(154,54)と、この部材から突出する軸方向に並んだ第一の対の捩りバー(156、56)を具備する。捩りバー(156、56)により基準部材(154、54)に連結され、この側より支持される第一のダイナミック部材(154、54)は捩りバーの軸の周りに一次元振動する。二次元振動のためには、軸方向に一直線に並んだ第二の対の捩りバー(56)により第二のダイナミック部材(52)を第一のダイナミック部材(54)側から支持すれば良い。ダイナミック部材(54、52)は、複数の振動モードをそれぞれ示し、各モードは振動数とQ値を有する。本発明の改良により、ダイナミック部材の振動数とQ値の特性を変更する手段が設けられる。ダイナミック部材(54、52)の間を連結すると、第一のダイナミック部材に適用される技術により第二のダイナミック部材の振動数とQ値を変更することができる。振動振幅を増大する技術、或いは駆動電圧を低下させる技術、またこの構造物の機械的堅牢度を高める技術も開示される。

Claim (excerpt)：

フレーム形状の基準部材と 径の反対側に有って対向し、軸方向に一直線に並び、基準部材から突出する一対の捩りバーと 捩りバーにより基準部材に連結され、それにより基準部材より支持されて捩りバーの軸の周りに回転されるダイナミック部材と ダイナミック部材に捩りバーの軸の周りの振動運動を付与する駆動手段とを備える一体化微細加工構造物であって、 基準部材と捩りバーとダイナミック部材は全てシリコン基体のストレスの無い半導体層から一体に製作されてい、斯くして捩りバーにより基準部材内に支持されるダイナミック部材は、捩りバーの軸の周りの主捩り振動モードと、鉛直方向の震とう(シェーキング)振動モードと、鉛直方向の揺動(ロッキング)振動モードと、横方向の震とう振動モードと、横方向の揺動振動モードとを含む複数の振動モードを示し、ダイナミック部材の各かかる振動モードは振動数とQ値を含む特性を有する一体化微細加工構造物において、 ダイナミック部材の主捩り振動モードの特性を変更する特性調整手段を具備することを特徴とする一体化微細加工構造物。

IPC (5)：

B81B 3/00 ,  G02B 26/08 ,  H01L 41/09 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (5)：

B81B 3/00 ,  G02B 26/08 E ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 U