プラズマ処理方法及び装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山下穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001267474
Publication number (International publication number)：2003077699
Application date： Sep. 04, 2001
Publication date： Mar. 14, 2003
Summary：

【要約】【課題】充分なエネルギーのイオンを被処理基体に入射できるようにする。【解決手段】プラズマ処理容器内にプラズマ発生用ガスを導入する導入部と、前記導入部によって導入されたプラズマ発生用ガスに第一の高周波電力を印加する第一印加部と、前記プラズマ処理容器内に載置した被処理基体に13.56MHzよりも高い発振周波数で生成した第二の高周波電力を印加する第二印加部とを備えたプラズマ処理装置において、前記第二の高周波電力を生成するための高周波発振器と前記被処理基体とを、前記プラズマを発生することで生成されるシース領域の容量成分以上の容量成分の接続部で接続し、前記プラズマ処理容器内の圧力を前記プラズマ中のイオンがシース領域内で互いに衝突しないような圧力とする圧力制御部を備える。

Claim (excerpt)：

プラズマ処理容器内にプラズマ発生用ガスを導入する導入部と、前記導入部によって導入されたプラズマ発生用ガスに第一の高周波電力を印加する第一印加部と、前記プラズマ処理容器内に載置した被処理基体に13.56MHzよりも高い発振周波数で生成した第二の高周波電力を印加する第二印加部とを備えたプラズマ処理装置において、前記第二の高周波電力を生成するための高周波発振器と前記被処理基体とを、前記プラズマを発生することで生成されるシース領域の容量成分以上の容量成分の接続部で接続し、前記プラズマ処理容器内の圧力を前記プラズマ中のイオンがシース領域内で互いに衝突しないような圧力とする圧力制御部を備えることを特徴とするプラズマ処理装置。

IPC (9)：

H05H 1/46 , B01J 19/08 , C23C 16/517 , C23F 4/00 , H01L 21/205 , H01L 21/285 , H01L 21/3065 , H01L 21/31 , H01L 21/768

FI (10)：

H05H 1/46 B , B01J 19/08 E , B01J 19/08 H , C23C 16/517 , C23F 4/00 A , H01L 21/205 , H01L 21/285 C , H01L 21/31 C , H01L 21/302 B , H01L 21/90 K

F-Term (110)：

4G075AA24 , 4G075AA30 , 4G075AA61 , 4G075AA62 , 4G075BC04 , 4G075BC06 , 4G075BC08 , 4G075BD14 , 4G075CA25 , 4G075CA47 , 4G075EB24 , 4G075EB42 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA14 , 4K030AA18 , 4K030BA29 , 4K030BA30 , 4K030BA40 , 4K030CA04 , 4K030FA01 , 4K030FA03 , 4K030GA02 , 4K030JA18 , 4K057DA01 , 4K057DA16 , 4K057DB02 , 4K057DB03 , 4K057DB05 , 4K057DB06 , 4K057DB08 , 4K057DD03 , 4K057DD07 , 4K057DD08 , 4K057DG08 , 4K057DG13 , 4K057DG15 , 4K057DK03 , 4K057DM05 , 4K057DM18 , 4K057DM28 , 4K057DM29 , 4K057DM32 , 4K057DN01 , 4M104BB02 , 4M104BB14 , 4M104BB16 , 4M104BB17 , 4M104BB18 , 4M104DD44 , 4M104DD45 , 5F004AA05 , 5F004BA20 , 5F004BB13 , 5F004BB14 , 5F004BB22 , 5F004BB23 , 5F004BD01 , 5F004BD04 , 5F004CA02 , 5F004CB04 , 5F004DA00 , 5F004DA01 , 5F004DA04 , 5F004DA22 , 5F004DA23 , 5F004DA24 , 5F004DA26 , 5F004DB00 , 5F004DB02 , 5F004DB03 , 5F004DB23 , 5F033HH08 , 5F033HH18 , 5F033HH19 , 5F033HH20 , 5F033HH21 , 5F033PP02 , 5F033PP12 , 5F033RR03 , 5F033RR04 , 5F033RR05 , 5F033RR06 , 5F033RR11 , 5F033SS01 , 5F033SS02 , 5F033SS03 , 5F033SS04 , 5F033SS15 , 5F033WW00 , 5F045AA08 , 5F045AB03 , 5F045AB04 , 5F045AB06 , 5F045AB10 , 5F045AB31 , 5F045AB32 , 5F045AB33 , 5F045AC01 , 5F045AC03 , 5F045AC05 , 5F045AC08 , 5F045AC12 , 5F045AC16 , 5F045DP03 , 5F045EH11 , 5F045EH20 , 5F045EJ10 , 5F045EM05 , 5F045GB08

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