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J-GLOBAL ID：200903078569614281

酸化チタン膜

Inventor： 白露 幸祐
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996044779
Publication number (International publication number)：1997235118
Application date： Mar. 01, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】CVD膜又はPVD膜からなる、ルチル型構造を有する酸化チタン膜を提供する。【解決手段】結晶構造がルチル型の酸化物膜5の上に形成された、CVD膜又はPVD膜からなる酸化チタン膜6であって、酸化物膜5としては、導電性を有するものが好ましく、酸化錫又は酸化錫を主成分とするものが好ましい。

Claim (excerpt)：

結晶構造がルチル型の酸化物膜の上に形成された、CVD膜又はPVD膜からなる、酸化チタン膜。

IPC (5)：

C01G 23/00 ,  C23C 14/08 ,  H01B 3/12 304 ,  H01G 4/33 ,  H01G 4/12 391

FI (5)：

C01G 23/00 ,  C23C 14/08 E ,  H01B 3/12 304 ,  H01G 4/12 391 ,  H01G 4/06 102