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J-GLOBAL ID：200903078593811152

ガス滅菌処理方法及びガス滅菌処理システム

Inventor： 安藤 紳一 ,  市田 泰三
Applicant, Patent owner： 大陽東洋酸素株式会社
Agent (1)： 杉本 丈夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995290751
Publication number (International publication number)：1997131390
Application date： Nov. 09, 1995
Publication date： May. 20, 1997
Summary：

【要約】【課題】 過酸化水素ガスを使用して滅菌処理を効率よく効果的に行うことができるようにする。【解決手段】 容器1内の被処理物13を過酸化水素ガスとの接触により滅菌させる。容器1には、排気路31から余剰ガスを排出させつつ、過酸化水素ガスをガス供給口11から連続的に供給させる。容器1内における過酸化水素ガス濃度は、半導体ガスセンサ4の出力に基づいて過酸化水素ガスの供給量を制御することにより、予め設定された一定範囲に保持される。過酸化水素ガスの供給前においては、キャリアガスたる乾燥空気のみを容器1に供給させることにより、容器1内における相対湿度を低減させておく。排ガスは、除害器32に充填した活性炭との接触により、過酸化水素ガス濃度を一定値以下に低減した上で、大気中に放出される。

Claim (excerpt)：

処理容器内の被処理物を該容器内に供給した過酸化水素ガスとの接触により滅菌させるようにしたガス滅菌処理方法において、処理容器内に、該容器の排気口から余剰ガスを排出させつつ、過酸化水素ガスを連続的に供給させるようにすると共に、処理容器内における過酸化水素ガス濃度を予め設定された一定範囲に保持すべく、過酸化水素ガスの供給量を制御するようにしたことを特徴とするガス滅菌処理方法。