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J-GLOBAL ID：200903078599327430

非線形光学ガラス薄膜の製造方法

Inventor： 近藤 裕己 ,  杉本 直樹 ,  真鍋 恒夫
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993017964
Publication number (International publication number)：1994208148
Application date： Jan. 08, 1993
Publication date： Jul. 26, 1994
Summary：

【要約】【構成】Cuまたはその化合物、Clまたはその化合物及びマトリックスガラスをスパッタリングし、基板表面にCuCl微粒子分散ガラス薄膜を形成するにあたり、スパッタリングするチャンバー内の圧力を0.001〜40Paの範囲で変化させ、CuCl微粒子の粒径を制御し非線形光学ガラス薄膜を製造する。【効果】CuCl微粒子の粒径の制御が容易である。

Claim (excerpt)：

Cuまたはその化合物、Clまたはその化合物及びマトリックスガラスをスパッタリングし、基板表面にCuCl微粒子分散ガラス薄膜を形成するにあたり、スパッタリングするチャンバー内の圧力を0.001〜40Paの範囲で変化させ、CuCl微粒子の粒径を制御することを特徴とする非線形光学ガラス薄膜の製造方法。

IPC (5)：

G02F 1/35 505 ,  C03C 17/22 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/54

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-127802
  
• 特開平4-331501
  
• 特開平2-305101