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J-GLOBAL ID：200903078600933919
静電吸着力除去方法および静電吸着装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高田 幸彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991235956
Publication number (International publication number)：1993074920
Application date： Sep. 17, 1991
Publication date： Mar. 26, 1993
Summary：
【要約】【目的】簡単な回路構成で残留吸着力をすみやかに低減する。【構成】電極に電圧を印加し絶縁膜を介して試料を電極に静電吸着させた後、静電吸着力を解除する際に、電圧の印加を中止し、試料と電極とを電気的に接続する。
Claim (excerpt)：
前記電極に電圧を印加し絶縁膜を介して試料を前記電極に静電吸着させた後、静電吸着力を解除する際に、前記電圧の印加を中止し、前記試料と前記電極とを電気的に接続することを特徴とする静電吸着力除去方法。
Patent cited by the Patent：
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