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J-GLOBAL ID：200903078634593262

ガスセンサの製造方法

Inventor： 山口 隆司
Applicant, Patent owner： フイガロ技研株式会社
Agent (1)： 塩入 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991192518
Publication number (International publication number)：1993087763
Application date： Jul. 05, 1991
Publication date： Apr. 06, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ガス検出膜を微細化し、低消費電力のガスセンサを得る。【構成】 レジストを現像して得たパターンに感ガスペーストを印刷し、パターンをラッピングしてパターン以外の部分のペーストを除くと共に、ペーストの厚さを揃え、焼成する。

Claim (excerpt)：

基板上にフォトレジストを塗布現像して、感ガスパターンを形成する工程と、感ガスパターンに感ガス材料のペーストを塗布し、パターンを充填する工程と、充填した感ガスペーストをラッピングし、パターン以外の部分の感ガスペーストを除去すると共に、パターン部での感ガスペーストの厚さをフォトレジストの厚さを基準に揃える工程と、感ガスペーストを焼成し感ガス膜を形成すると共に、フォトレジストを除去する工程とを設けた、ガスセンサの製造方法。