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J-GLOBAL ID：200903078640988848

導電薄膜の導電性測定装置

Inventor： 谷中 雅顕 ,  伊橋 紀孝 ,  卜部 啓 ,  岡部 朋永
Applicant, Patent owner： 凸版印刷株式会社 ,  独立行政法人産業技術総合研究所
Agent (6)： 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  坪井 淳 ,  橋本 良郎 ,  河野 哲 ,  中村 誠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002339127
Publication number (International publication number)：2004170345
Application date： Nov. 22, 2002
Publication date： Jun. 17, 2004
Summary：

【課題】導電薄膜の導電異方性と、導電薄膜に存在する傷の方向性とを、測定時に導電薄膜を傷つけることなく、高精度で測定すること。【解決手段】本発明によれば、導電薄膜の導電性を非接触で測定する測定装置において、電磁波発振器10によって発振された電磁波Aを、偏波面回転装置16によって所定の偏波角度に偏波し、偏波面回転装置16によって偏波された電磁波Bを入射波として、ホーンアンテナ18(#a)を介して導電薄膜25の膜面に対する垂直方向から導電薄膜25に入射させ、入射波が導電薄膜25を透過してなる透過波Eのうち、入射波が入射した方向における成分の強度と、偏波角度との相関関係に基づいて、導電薄膜25の導電異方性、および導電薄膜25に存在する傷の方向性を偏分波器22によって測定する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

導電薄膜の導電性を非接触で測定する測定装置において、 電磁波を所定の偏波角度に偏波し、 前記偏波された電磁波を入射波として、前記導電薄膜の膜面に対する垂直方向から前記導電薄膜に入射させ、 前記入射波が前記導電薄膜を透過してなる透過波のうち、前記入射波が入射した方向における成分の強度と、前記偏波角度との相関関係に基づいて、前記導電薄膜の導電異方性、および前記導電薄膜に存在する傷の方向性を測定するようにした導電性測定装置。

IPC (4)：

G01N22/00 ,  G01N22/02 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1343

FI (5)：

G01N22/00 B ,  G01N22/00 R ,  G01N22/02 A ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1343

F-Term (10)：

2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088HA02 ,  2H088MA20 ,  2H092GA05 ,  2H092HA04 ,  2H092MA35 ,  2H092MA55 ,  2H092NA25 ,  2H092NA30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭55-129734
  
• 繊維の方向を決定するための方法と装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-235056   Applicant：アーベーベー・パテント・ゲーエムベーハー
• 特開昭60-203839
  
• 特開昭58-086443
  

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 電磁気法