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J-GLOBAL ID：200903078646404996
マイクロ蛍光X線分析装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996149280
Publication number (International publication number)：1997329557
Application date： Jun. 11, 1996
Publication date： Dec. 22, 1997
Summary：
【要約】【課題】 微小領域から発生する蛍光X線に偏りと拡がりがあっても十分な検出強度が得られるようにしたマイクロ蛍光X線分析装置を提供する。【解決手段】 蛍光X線を測定する検出器の形状を薄型、かつ、中空円筒型とし、一次X線を細束化するX線導管の試料部側端部付近に軸方向に垂直に外嵌させる構造とした。
Claim (excerpt)：
試料の微小領域に細束高輝度X線を照射するためのX線導管と、試料の微小領域から発生する蛍光X線を測定するエネルギー分散型半導体検出器を有し、その形状が中空平板型となっていることを特徴とするマイクロ蛍光X線分析装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 23/223
, G21K 1/02 Z
