Pat

J-GLOBAL ID：200903078666484449

導電性セラミックス及びその用途

Inventor： 安達 健一 ,  佐々木 欣夫 ,  今村 保男
Applicant, Patent owner： 電気化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994116874
Publication number (International publication number)：1995315965
Application date： May. 30, 1994
Publication date： Dec. 05, 1995
Summary：

【要約】【目的】 長寿命の金属蒸発用発熱体(ボート)及びその製作に好適な導電性セラミックスを提供すること。【構成】 窒化ほう素、二硼化チタン及び窒化アルミニウムを成分として含む導電性セラミックス焼結体表面に、窒化アルミニウムとイットリアを成分として含む被覆層が形成されてなることを特徴とする導電性セラミックス、及びキャビティを有する導電性セラミックスボートからなるものであって、このキャビティ部を上記の導電性セラミックスで構成されてなることを特徴とする金属蒸発用発熱体、並びにこの金属蒸発用発熱体の変形品。

Claim (excerpt)：

窒化ほう素、二硼化チタン及び窒化アルミニウムを成分として含む導電性セラミックス焼結体表面に、窒化アルミニウムとイットリアを成分として含む被覆層が形成されてなることを特徴とする導電性セラミックス。

IPC (5)：

C04B 41/87 ,  C04B 35/583 ,  C04B 35/58 105 ,  C23C 14/24 ,  H05B 3/14