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J-GLOBAL ID：200903078696005375
ワイヤソーの被加工物切断方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996141770
Publication number (International publication number)：1997314550
Application date： Jun. 04, 1996
Publication date： Dec. 09, 1997
Summary：
【要約】【課題】効率的に被加工物の切断を行うことができるワイヤソーの被加工物切断方法の提供。【解決手段】ワークフィードテーブル28に着脱自在なチルチングユニット30を用いてインゴット32の水平角度調整と垂直角度調整をあらかじめワイヤソー10の装置外で行ったのち、前記チルチングユニット30を介して前記インゴット32を前記ワークフィードテーブル28に取り付けてインゴット32の切断を行う。
Claim (excerpt)：
走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に対して垂直に進退移動するワークフィードテーブルに被加工物を取り付け、該ワークフィードテーブルを前記ワイヤ列に向けて送り出すことにより前記被加工物をワイヤ列に押し当て、前記被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーの被加工物切断方法において、前記ワイヤソーの装置外で、あらかじめ前記被加工物の水平角度調整及び垂直角度調整を行ったのち、前記被加工物を前記ワークフィードテーブルに取り付けて、前記被加工物の切断をすることを特徴とするワイヤソーの被加工物切断方法。
IPC (2)：
FI (2)：
B28D 5/04 C
, B24B 27/06 D
