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J-GLOBAL ID：200903078717052379

静電パターン形成装置

Inventor： 吉沼 洋人
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 志村 浩
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994173245
Publication number (International publication number)：1996019272
Application date： Jul. 01, 1994
Publication date： Jan. 19, 1996
Summary：

【要約】【目的】 電荷保持媒体に対して微細な静電パターンを高精度で形成することが可能な静電パターン形成装置を提供する。【構成】 静電アクチュエータ用の移動子20は、PETフィルムからなる支持絶縁体層21上に、体積抵抗率が1018Ω・cm以上の環状構造を有する弗素重合体からなる電荷保持媒体層23が形成されている。基板61上には、ストライプ状のパターン電極62と、これを隔離するための隔離壁63とが形成されている。移動子20を第1の電極基板60と第2の電極基板50との間に挟んだ状態で、パターン電極62と第2の電極基板50との間に放電電圧を印加して気中放電を行うと、電荷保持媒体層23に所定の静電パターンが形成される。この静電パターンは長期間にわたり保持される。

Claim (excerpt)：

気中放電により電荷を蓄積する性質をもった電荷保持媒体層に、部分的に電荷を蓄積させて所定の静電パターンを形成するための装置であって、前記電荷保持媒体層の一方の面に直接または間接的に接する第1の電極基板と、前記電荷保持媒体層の他方の面に直接または間接的に接する第2の電極基板と、前記第1の電極基板と前記第2の電極基板との間に所定の放電電圧を印加する電圧印加手段と、を備え、前記第1の電極基板は、絶縁性の基板と、この基板上に形成された複数のパターン電極と、前記各パターン電極を互いに隔絶するための絶縁性の隔離壁と、を有し、前記隔離壁は、前記電荷保持媒体層と前記各パターン電極との間にほぼ一定の距離をもった放電空間を確保できるような、ほぼ一定の高さを有し、前記第2の電極基板は、前記各パターン電極に対向する対向電極として機能する導電層を含み、前記電圧印加手段は、前記第1の電極基板と前記第2の電極基板とにより前記電荷保持媒体層を挟み込んだ状態において、前記複数のパターン電極の一部もしくは全部と、前記対向電極との間に放電電圧を印加することにより、前記放電空間に放電を起こさせ、前記パターン電極のパターンに対応した静電パターンを前記電荷保持媒体層に形成させる機能を有することを特徴とする静電パターン形成装置。